模擬型微小氣體質(zhì)量流量計(jì)工作原理

　　模擬型微小氣體質(zhì)量流量計(jì)主要用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量，密封探頭由兩傳感元件組成--速度傳感器及溫度傳感器，能自動(dòng)校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計(jì)算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級鉑金電阻溫度探測器(RTD)。鉑金RTD絲纏繞在堅(jiān)固的陶瓷芯軸上，整個(gè)傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。

　　產(chǎn)品特點(diǎn)

　　◆ 預(yù)熱時(shí)間短、零漂小、可靠性高

　　◆ 數(shù)字信號，可使用計(jì)算機(jī)控制和顯示流量計(jì)

　　◆ 質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量計(jì)出廠通常用氮?dú)?N)標(biāo)定

　　◆ 質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM（標(biāo)準(zhǔn)毫升/分）；SLM（標(biāo)準(zhǔn)升/分）

　　◆ 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為： 溫度------273.15K（0℃）

　　                                 氣壓------101325 Pa(760mm Hg)

　　◆F.S（Full Scale）：、滿量程值

　　產(chǎn)品參數(shù)

　　產(chǎn)品尺寸

模擬型氣體質(zhì)量流量計(jì)

　　選型參考

　　應(yīng)用行業(yè)

　　模擬型微小氣體質(zhì)量流量計(jì)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。醫(yī)療設(shè)備、玻璃行業(yè)、真空鍍膜、分析儀器、燃料電池、大氣檢測、冶金、環(huán)保、制氣配氣、太陽能、發(fā)泡行業(yè)等。